半导体产业作为电子信息产业的核心，其发展离不开关键技术突破与高端人才支撑。近日，依托“以才引才、以商引商”的联动效应，立川（杭州）半导体设备有限公司（下称“立川半导体”）全自动晶圆检测探针台项目、科立芯（杭州）精密设备有限公司（下称“科立芯”）IWC 晶圆清洗技术项目相继落户余杭经开区，为区域半导体产业链补链强链注入强劲动能。

  （图片说明：余杭经开区全景图）

  “以商引商”，两大人才项目实现“毗邻而居”

  “去年年底，余杭经开区领导了解到我们项目后就积极接洽，今年上班第一天更是专程到无锡上门招商。这份重视与热情让我们深受触动。”立川半导体项目相关负责人林邦羽博士回忆起与余杭经开区的结缘，言语间满是认可。​

  在后续的项目对接沟通中，余杭经开区所展现出的超强执行力，更是让立川半导体吃下了“定心丸”。从项目选址到人才政策扶持，再到产业链上下游对接，全方位的助企服务细致入微。

  “我们的设备体型较大，对生产场地要求特殊，希望在一楼，有足够的载重，还最好配备电梯。” 林邦羽道出了企业的诉求。招商小组得知后，立刻全面摸排合适厂房，最终在余杭经开区内的传诚产业园为其找到了理想的落地空间。正是这份高效与贴心，让立川半导体在确定落户后，向合作方科立芯伸出了 “橄榄枝”。

  “科立芯的晶圆清洗技术与我们的晶圆检测探针台在半导体制造中有着深度的产业协同，能共同保障芯片良率和制程稳定性。”林邦羽表示，在得知科立芯白耀文博士领衔的项目正在寻找落户场地时，他第一时间向对方推荐了余杭经开区。

  白耀文在接到推荐后，便与林邦羽共同来到余杭经开区实地考察。在深入了解了当地的产业配套情况、对人才项目的扶持政策及区位优势后，白耀文没有太多犹豫，便从苏州来到了余杭经开区。“我们的新场地就在立川半导体隔壁，我们双方的客户基本都可以共通，以后在产业对接上方便多了。”对于之后的发展，白耀文充满期待。

  产业协同、技术互补，共同筑起芯片制造防线

  立川半导体项目致力于全自动晶圆检测探针台相关的设备的研发与生产；科立芯项目则在晶圆清洗设备的研发道路上不断深耕发展——这两个项目中共同提到的“晶圆”显然是他们形成紧密合作的基础。

  或许很多人对“晶圆”感到陌生，其实它就是制作芯片的关键原材料——硅晶片。一块薄薄的圆形硅晶片，能加工出各类电路元件结构，使之成为具有特定电性功能的集成电路（IC）产品。待制作完成后，晶圆会被送往封装厂切割、封装，最终形成我们日常使用的芯片。

  立川半导体所研发的探针台作为晶圆制造、封装测试环节的必备设备，在电性能测试、精密定位与校准、生产流程优化等方面发挥着重要作用。“晶圆制造的很多关键环节都离不开探针台，比如电性能检测时，通过探针与芯片电极接触，能精确测量电流、电压等参数，验证芯片设计是否符合规格。”林邦羽介绍道。据了解，其研发的全自动晶圆级探针台，相比手动、半自动设备，拥有更精密的电气架构设计、多子系统协调控制和高精密零部件集成能力。

  （图片说明：立川半导体全自动晶圆检测探针台）

  而在晶圆制造过程中，科立芯专注的清洗环节同样不可或缺。“晶圆制作的每一道工序前后都需要用到我们的清洗设备，比如在探针台测试前，光刻、刻蚀、化学机械拋光等工序后，都需要通过清洗去除晶圆表面的颗粒、金属残留等污染物，否则会导致探针台测试时出现假性失效，影响芯片最终性能。”白耀文解释道。

  据白耀文介绍，传统的RCA 清洗技术往往需要用到强酸、氧化物等化学试剂，其清洗后的试剂对环境存在一定影响，而科立芯所采用的IWC清洗技术独特电解离子水技术，可产生去污能力更强的碱性电解水，不再需要加入过多化学试剂，在保护环境的同时通过产生的纳米气泡，进一步提升清洗效果。

  （图片说明：科立芯晶圆清洗设备）

  “我们计划在三年内，研发投入1900万元用于继续优化IWC清洗液的配方和生产工艺，拓展IWC技术在半导体制造其他环节的应用，进一步填补国内高端晶圆清洗设备的技术空白。”白耀文满怀期待地表示。

  此次两大项目的联动落地，既是余杭经开区 “以才引才、以商引商”模式的生动实践，也体现了该区域对半导体高端人才与核心技术的强大吸引力。未来，随着项目的逐步投产，余杭经开区半导体产业链布局将更加完善，也能够为长三角半导体产业高质量发展贡献更多硬核力量。（杨旭晓 王婷宇）